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7x24小時(shí)服務(wù)熱線:18112358302(甄經(jīng)理)

納米光譜在線測(cè)厚儀

品牌型號(hào): 賽默斐視

檢測(cè)對(duì)象: 薄膜/鍍膜/涂布等

厚度范圍: 10納米-100微米

檢測(cè)精度: 0.1mm(取決于相機(jī)數(shù)量、產(chǎn)線幅寬及車(chē)速)

軟件功能: 提供針對(duì)客戶在線系統(tǒng)的定制檢測(cè)系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹

  現(xiàn)代薄膜涂布鍍層工藝在進(jìn)行在線生產(chǎn)過(guò)程中,需要對(duì)膜厚及涂層厚度進(jìn)行實(shí)時(shí)的在線測(cè)厚,由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測(cè)儀檢測(cè)精度低、易偏移、難于校準(zhǔn)等缺點(diǎn)給實(shí)際的工藝產(chǎn)品質(zhì)量控制造成了很大的影響,SIMV涂層(膜厚)在線測(cè)厚儀,采用納米光學(xué)干涉的方式,可同時(shí)對(duì)20層不用涂層、薄膜進(jìn)行同時(shí)測(cè)量,同時(shí)精度高達(dá)1nm,完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測(cè)厚儀有輻射、偏移周期長(zhǎng)、檢測(cè)精度低、不能檢測(cè)涂層厚度的缺點(diǎn)。賽默斐視涂層厚度在線測(cè)厚儀檢測(cè)精度高,同時(shí)能夠?qū)崟r(shí)在線自動(dòng)校準(zhǔn),有效的保證了在線測(cè)厚儀的檢測(cè)精度。

  【檢測(cè)原理】

  當(dāng)特定波長(zhǎng)的光通過(guò)不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)時(shí),經(jīng)過(guò)表面及內(nèi)部多次反射之后形成的光譜條紋是完全不一樣的,系統(tǒng)通過(guò)分析所接收到的反射光的光譜干涉條紋特性,與系統(tǒng)庫(kù)中的光譜曲線進(jìn)行匹配和對(duì)比,同時(shí)進(jìn)行特征曲線的仿真和擬合,進(jìn)而對(duì)每種不同成分厚度的涂層進(jìn)行在線測(cè)量。

  1.入射光在膜的上下表面發(fā)生多次反射。

  2.反射光的強(qiáng)度和薄膜折射率,基底(substrate)折射率及膜厚,波長(zhǎng)有關(guān)。

  3.在已知折射率的情況下,根據(jù)測(cè)量出的反射光強(qiáng)和波長(zhǎng)的函數(shù),計(jì)算出膜厚。

  由上面兩張圖片對(duì)比可以發(fā)現(xiàn),特定波長(zhǎng)的光經(jīng)過(guò)某種不同的材料(不同厚度、密度、類型)內(nèi)部反射之后所產(chǎn)生的光譜干涉條紋完全不同,如上圖圖中黑色線條部分,根據(jù)每種干涉條紋與系統(tǒng)庫(kù)中的條紋進(jìn)行對(duì)比仿真擬合,從而檢測(cè)出實(shí)際的材料厚度。

  【系統(tǒng)功能】

序號(hào) 功能概述
1 測(cè)量鍍膜或涂布厚度,厚度范圍在10納米-100微米,準(zhǔn)確度達(dá)到2納米或厚度0.4%,精度達(dá)到0.1納米,測(cè)量穩(wěn)定性0.3納米。
2 精確測(cè)量樣品的顏色和在380-780納米可見(jiàn)光范圍內(nèi)的反射率曲線。
3 測(cè)量軟件支持20層以內(nèi)的物理模型,并對(duì)多個(gè)參數(shù)進(jìn)行同時(shí)測(cè)量。
4 具有折射率模型編輯擬合功能,對(duì)于100納米-幾個(gè)微米的膜,可以在折射率未知的情況下,結(jié)合軟件對(duì)膜厚,折射率參數(shù)進(jìn)行同時(shí)測(cè)量。
5 軟件具有對(duì)樣品的粗糙度,背面反射,多角度入射進(jìn)行建模的功能
6 軟件還可針對(duì)已知樣品的模型,使用不同入射角和偏振進(jìn)行仿真以計(jì)算不同情況下反射率曲線。
7 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù),同時(shí)還支持函數(shù)型(Cauchy,Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。
8 客戶還可以通過(guò)軟件自帶數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)材料,菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果
9 我們還提供針對(duì)客戶在線系統(tǒng)的定制檢測(cè)系統(tǒng)。

  【軟件介紹】

  軟件主界面基本示意如下圖所示:

  【現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用】

  涂層/膠層在線測(cè)厚系統(tǒng)在保護(hù)膜、膠帶的現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用如下圖所示。

涂層/膠層在線測(cè)厚系統(tǒng)

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